23일 오후 서울 강남구 코엑스에서 개막한 반도체 산업 박람회 ‘세미콘 코리아 2019’에서 참관객들이 전시를 둘러보고 있다. [연합뉴스]

[이뉴스투데이 여용준 기자] 올림푸스·니콘·라이카 등 글로벌 카메라 기업들이 23일 서울 삼성동 코엑스에서 개막한 ‘세미콘 코리아 2019’에 산업용 카메라와 현미경, 측정장비를 대거 선보였다.

산업용 카메라와 현미경은 반도체를 포함해 정밀한 공정이 요구되는 제조업에서 부품의 미세한 결함을 검사하고 측정하는데 필수적으로 사용되는 장비다. 특히 2차원적 촬영에 그치지 않고 3D로 이미지를 구현해 부품을 더욱 섬세하게 관찰할 수 있도록 돕는다.

올림푸스는 OLS5000을 포함한 장비들을 선보였다. OLS5000은 레이저 스캔 방식을 적용한 3D 관찰 장비로 복잡한 표면에 접촉하지 않아도 측정이 가능하다.
산업내시경 IPLEX 시리즈는 산업 설비, 배관, 항공기 엔진, 차량 부품 등 육안으로 직접 보기 힘든 곳의 부식이나 미세 균열 등을 발견하는데 쓰이는 비파괴 검사 장비다.

라이카도 조작이 간편하고 0.5㎛까지 세밀하게 관찰할 수 있는 현미경 DVM6을 내놓았다. 헤드 부분이 좌우로 자유롭게 움직이고 3D 스캔도 가능해 입체적으로 부품을 살펴볼 수 있다.

라이카 관계자는 “조작이 간편하고 고배율 관찰이 가능하기 때문에 반도체뿐 아니라 제조업 전반에서 넓게 쓰이고 있다”며 “현대자동차를 포함한 국내 주요 기업에 제품을 공급하고 있다”고 전했다.

니콘은 1000배율까지 확대할 수 있는 현미경을 포함해 다양한 제품을 선보였다. 니콘 관계자는 “삼성전자와 SK하이닉스를 포함한 많은 기업이 우리 고객사”라며 “산업용 현미경과 생물용 현미경을 7대 3 비중으로 생산하고 있다”고 설명했다.

또 렌즈 전문 기업인 칼 자이스는 산업용 현미경과 카메라 전체 라인업을 선보이며 관람객을 맞이했다.

이 밖에도 국내외 기업들이 현미경과 엑스레이 등 반도체 검사 장비를 선보였다. 

산업용 엑스레이 장비를 생산하는 SEC는 반도체 부품을 엑스레이로 면밀하게 관찰할 수 있는 장비를 선보였다. 특히 반도체 크기에 따라 다른 장비로 더 섬세하게 관찰할 수 있으며 반도체뿐 아니라 전자장비나 자동차 등 미세 부품공정이 많은 제조업에도 유용하게 쓰일 수 있다.

키엔스는 각종 현미경과 고속카메라, 측정기 등 전체 라인업을 선보였다. 특히 라이브 심도 합성과 멀티 라이팅 기술 등으로 섬세한 관찰이 가능하다. 반도체 뿐 아니라 제조 부품 3D 스캔이 가능하다.

산업용 현미경과 카메라시장은 반도체·디스플레이 등 제조업 성장과 함께 수요가 크게 늘었다. 반도체 업계 관계자는 “반도체 호황과 함께 시설 증축이 늘어나면서 장비시장도 함께 성장했다”며 “다만 올해부터 호황기가 끝나고 침체기에 접어들게 되면 다소 수요에 감소가 있을 것”이라고 전했다.

니콘(왼쪽)과 라이카의 산업용 현미경.

한편, 세미콘 코리아는 국내외 반도체 제조 장비와 재료 업체들이 참가하는 국내 최대 규모 전시회로 올해는 469개 업체가 2037개 부스를 마련했다. 참가업체와 부스 모두 전년 대비 5% 이상 증가했다. 특히 연설자는 지난해 94명에서 올해 120명으로 21.6%가 늘었다. 주최 측에서는 올해 5만명 이상이 행사를 찾을 것으로 예상했다.

△인공지능(AI) 서밋 △MEMS & Sensor 서밋 △스마트 매뉴팩처링 포럼 △MI(Metrology and Inspection) 포럼 △테스트 포럼 △SEMI 기술심포지엄(STS) △마켓 세미나 △구매상담회 △대학생 전용프로그램 △국제 표준회의 등이 진행된다.

조현대 국제반도체장비재료협회(SEMI) 코리아 대표는 “세미콘 코리아 2019는 반도체 산업의 건강한 생태계를 지원하고 SEMI 회원사의 글로벌 비즈니스 기회를 확장하며 반도체 기술의 현재와 미래 기술을 조망하는 대한민국 최대의 반도체 산업전”이라며 “업계의 많은 관심과 참여 덕분에 매년 역대 최대 규모를 경신하고 있다. 반도체 산업의 성장을 지원하는 산업전이 되겠다”고 말했다.

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